IDEAS home Printed from https://ideas.repec.org/p/ekd/006666/7513.html
   My bibliography  Save this paper

ДЕТЕКТОР С БАРЬЕРОМ ШОТТКИ НА ОСНОВЕ Pt2Si/PtSi – Si

Author

Listed:
  • Nasimi Kazimov
  • Мамедова А.Ф.
  • Джалалова С.Э.
  • Алиева Д.И.
  • Гасанова Т.А.
  • Махмудова В.Х.

Abstract

Нами изготовлен фототранзистор с барьером Шоттки на основе контакта Pt2 Si/PtSi – Si, индуцированного, и р – канальный встроенного типаКанал был сформирован внедрением ионов бора с энергией 50 кэв и дозой 2• 1012 см-2. Истоки и стоки полевых транзисторов сформированы диффузией фосфора с поверхностным сопротивлением 8 Ом/□ и диффузией бора 6 Ом/□ на глубину 1,5мкм. Затвор из Pt2Si/PtSi получен методом показанный в работе Рассмотренный ИК – детектор может быть совмещен с элементами интегральных схем, что открывает широкие перспективы для его использования в многоэлементных инфракрасных фотоприемниках большой степени интеграции.

Suggested Citation

  • Nasimi Kazimov & Мамедова А.Ф. & Джалалова С.Э. & Алиева Д.И. & Гасанова Т.А. & Махмудова В.Х., 2014. "ДЕТЕКТОР С БАРЬЕРОМ ШОТТКИ НА ОСНОВЕ Pt2Si/PtSi – Si," 2nd International Conference on Energy, Regional Integration and Socio-Economic Development 7513, EcoMod.
    • Handle: RePEc:ekd:006666:7513
    as

    Download full text from publisher

    File URL: http://ecomod.net/system/files/%20%D0%A4.docx
    Download Restriction: no
    ---><---

    Corrections

    All material on this site has been provided by the respective publishers and authors. You can help correct errors and omissions. When requesting a correction, please mention this item's handle: RePEc:ekd:006666:7513. See general information about how to correct material in RePEc.

    If you have authored this item and are not yet registered with RePEc, we encourage you to do it here. This allows to link your profile to this item. It also allows you to accept potential citations to this item that we are uncertain about.

    We have no bibliographic references for this item. You can help adding them by using this form .

    If you know of missing items citing this one, you can help us creating those links by adding the relevant references in the same way as above, for each refering item. If you are a registered author of this item, you may also want to check the "citations" tab in your RePEc Author Service profile, as there may be some citations waiting for confirmation.

    For technical questions regarding this item, or to correct its authors, title, abstract, bibliographic or download information, contact: Theresa Leary (email available below). General contact details of provider: https://edirc.repec.org/data/ecomoea.html .

    Please note that corrections may take a couple of weeks to filter through the various RePEc services.

    IDEAS is a RePEc service. RePEc uses bibliographic data supplied by the respective publishers.